无尘室无尘车间的等级标准
先说什么是无尘室,无尘室就是把压力,温度,湿度,气流的分布和尘埃还有速度,控制在一定范围内的一个空间。
而关于他等级标准是依据美国联邦颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,无尘室的等级是用在一定尘粒的尺寸的级数来表示的。制造集成电路所需要的无策划你是的洁净度就必须高于1000级,联邦规格的等级中Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中,含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子,及称为[等级○○]。比如说:等级10是指空气中俺有10个0.5以下的时候。自然界大气中一般含有的微粒是在300000到30000000个。
在jis的标准下,无尘室的洁净度有8个等级,也就是说:在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,一次类推。而一般洁净度就是指空气的洁净等级。
洁净室夏季室温超过设计范围的原因,多是由于开始确定的各洁净室的空调送风量即换气次数时只注重满足洁净度指标,忽视了对各洁净室热平衡的校核计算。因此在生产洁净室的设计及运行过程中,必须对洁净室的空调送风参数进行实时修正,保证各个季节生产洁净室的温度都维持18-28℃。温度和相对湿度主要影响产品生产工艺及细菌的繁殖条件,还能引发由生产操作人员舒适度对产品质量的影响。
净化车间送风量、换气次数:
净化工程-无菌洁净室工程设计阶段对送风量的确定,首先要满足相应洁净度级别的换气次数要求,同时还要通过热、湿负荷校核来进一步确定风量,在此基础上对过滤器进行选用。
净化空调运行模式
净化空调与舒适性空调不同之处就在于它不单纯是为满足空调区域温湿度要求而设置,因此,根据生产工艺要求,本系统净化空调具有三种不同的运行模式:正常运行模式、值班运行模式和消毒运行模式。运行模式之间的转换由操作人员根据生产工艺的需要通过自控系统的图形管理工作站进行手动切换,在每种运行模式下,系统按照相应的控制逻辑在自动控系统的控制之下自动完成相应的功能。