所以在从6英寸升级到8英寸的生产中，经过若干年冲洗的Clean-PVC管道也是有可能达到使用要求的。而PVDF管道可以在短时间内冲洗到较低的指标，如表3所示。为了节省初投资，纯水回水管道可以采用Clean-PVC或者洁净PP管代替PVDF，由于纯水回水需经过抛光系统的再次处理，所以即使回水中有较多的溶出物也不影响供水的水质，只是会影响抛光系统的维护费用，但长时间运行后维护费用的差别会逐步减小。
３ 结论
综上所述，笔者认为，对水质有较高要求的电子洁净厂房的工艺冷却水，管道应Sch-10S级不锈钢管及Sch80-PVC管。
类似6英寸半导体前工序及TFT-LCD厂房的水质，可使用Clean-PVC与洁净PP管道，但洁净PP在连接方式及施工质量上有明显的优势，故而，洁净PP管可以代替Clean-PVC在纯水系统管道中得到更广泛的应用。
类似8英寸及12英寸半导体厂房的水质，需采用PVDF管道作为。由6英寸升级到8英寸半导体水质的管道系统，可采用已运行多年的Clean-PVC管路系统而不必更换成PVDF管路系统。
2.监督和管理零件清洗小组的工作，指导小组成员施工技术，使用工具和仪器清洗零件，清洗后的零件符合相关标准的要求。电子厂净化车间中，部件可直接进行清洗，或拆卸后进行清洗，清洗后的部件要恢复到原来的所在的位置，可调节部件还应恢复到原来的调节位置。
3.在电子工厂净化车间中，需要对消毒小组的工作进行监督和管理，并指导消毒小组的施工技术和严格的消毒标准，清洁达到相应的卫生要求后，对风道，部件和冷却塔进行消毒。并做好记录。
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