３ 结论
综上所述，笔者认为，对水质有较高要求的电子洁净厂房的工艺冷却水，管道应Sch-10S级不锈钢管及Sch80-PVC管。
类似6英寸半导体前工序及TFT-LCD厂房的水质，可使用Clean-PVC与洁净PP管道，但洁净PP在连接方式及施工质量上有明显的优势，故而，洁净PP管可以代替Clean-PVC在纯水系统管道中得到更广泛的应用。
类似8英寸及12英寸半导体厂房的水质，需采用PVDF管道作为。由6英寸升级到8英寸半导体水质的管道系统，可采用已运行多年的Clean-PVC管路系统而不必更换成PVDF管路系统。
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洁净车间各种地面材料的优缺点以及适用范围
1、玻璃钢地面：耐腐蚀，整体性好；易起鼓，宜小面积使用，常用于药厂原料洁净车间有腐蚀的部位 。
2、涂料地面：具有水磨石优点，较耐磨而不耐拖拽，基底处理要求高，易卷边剥落，常用于药厂的洁净区；
3、双层地面：可以地面回风，通气性好，造价高，弹性差舒适性好，常用于药厂的垂直单向流洁净室（大面积）；
4、卷材板材：光滑耐磨，略有弹性，不易起尘，易清洗， 施工简易；易产生静电，受紫外灯照射易老化，大面积施工易起鼓，常用于洁净车间的控制区；
5、水磨石地面；整体性好、光滑、不易起尘，可冲洗且防静电；缺点是无弹性。常用于要求经常擦洗的分装车间、车间、实验室、卫生间、更衣室、洁晶工段等。
6、塑料地面：光滑、略有弹性、不易起尘、易擦洗清洁、耐磨、耐腐蚀，但易产生静电，受紫外线照射易老化。因此不宜于经常采用紫外线灯灭菌的场所。一般用于更衣室、包装间、化验室等房间。由于塑料板与混凝土基层的伸缩性能不同，不宜用于大面积车间，否则会引起起壳现象。
7、洁净车间耐酸瓷板地面：用耐酸胶泥贴砌，能耐腐蚀，但质较脆，经不起冲击，破碎后则降低耐腐蚀性能。这类地面可用于原料车间中有腐蚀介质的区段，由于施工复杂，造价高，宜用于有腐蚀介质滴漏的局部范围使用。例如，将有腐蚀介质的设备集中布置，然后将这一部分地面用挡水线围起来，挡水线内部用此种地面铺贴。
洁净车间功能温度测试：应将洁净工作区划分为等面积的栅格，每个分格面积不超过100平方米或与建设方协商确定，每格测点1个以上，每个房间测点至少2个。测试高度应为工作面高度，距的吊顶、墙面和地面不小于300mm，并应考虑热源等的影响，测量时间应至少1H，并至少6min测量一次，读数稳定后做好记录。洁净车间一般温度测试的测点，每个温度控制区或每个房间1个测点，测试点高度宜为工作面高度，测量时间应至少1H，并至少6min测量一次，读数稳定后做好记录。
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