（1）所有人员都必须通过的进出口进入，并在进入清洁区之前必须换上软底运动鞋，并且不得将软底球鞋穿出洁净区外。除施工人员及管理人员外闲杂人等一律不得进入洁净车间的相关区域。
（2）进入清洁区之前，必须洁净车间的机械，工具，材料和配件，并在室外擦拭干净。不得有油、锈及灰尘等，并且只能从规定的出入口进出。梯脚、施工机具底脚必须有橡胶软底。
（3）清洁区域中的物料搬运和设备搬运应小心谨慎，以免与墙壁或天花板碰撞。工具或材料搬运时必须完全离开地面，不得在地面上拖行。管道等长度≥1.5ｍ的材料必须由两人进行搬运，一人拿一端，不得一人独自搬运。
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回系统回，尘埃随向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
3.复合式：
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
第三，制定设计奖惩制度，对设计者进行物质或者荣誉奖励，提高设计者的工作积极性。
第四，制订“限额设计”标准。以限额设计标准作为设计部门的对照表，能有效预防造价失控。
第五，尽量采用新技术、新材料、新工艺、新设备，优化净化工程设计的技术经济指标，提高产业的科技含量，提高工程的综合效益。
2、加强施工阶段的控制
建立项目成本责任制，推行项目管理是实行项目经理负责制的施工管理方法。
第二，采用成本差异考核办法，对人工费成本差异、材料差异以及机械使用费用差异进行有效控制。
第三，制定标准成本。根据洁净车间装修预算定额、预算单价、材料结算规定和取费规定等确定洁净车间产品价格，并在合理施工方案的基础上制定工程项目标准成本。
第四，加强审计环节的控制。车间建设项目的审计必须对工程项目整个施工生产活动的全过程进行审计，做好事前审计、事中审计、事后审计以及竣工审计工作，杜绝施工失误的出现。
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