3 结论
综上所述,笔者认为,对水质有较高要求的电子洁净厂房的工艺冷却水,管道应Sch-10S级不锈钢管及Sch80-PVC管。
类似6英寸半导体前工序及TFT-LCD厂房的水质,可使用Clean-PVC与洁净PP管道,但洁净PP在连接方式及施工质量上有明显的优势,故而,洁净PP管可以代替Clean-PVC在纯水系统管道中得到更广泛的应用。
类似8英寸及12英寸半导体厂房的水质,需采用PVDF管道作为。由6英寸升级到8英寸半导体水质的管道系统,可采用已运行多年的Clean-PVC管路系统而不必更换成PVDF管路系统。
为了促进电子工业工厂的洁净车间项目满足生产过程所需的条件并实现设计所赋予的功能,基于《洁净厂房设计规范》《洁净车间施工及验收规范》等规范标准,结合康德莱净化多年多个电子工业洁净厂房工程项目的建设经验,从洁净车间施工前、施工过程中、验收和工艺设备搬入三个阶段,对各个阶段的施工管理要点加以梳理、研究,可供同类工程参考。
洁净车间也叫无尘车间、洁净厂房、无尘室,是指将在一定空间范围内空气中的微粒、有害空气、细菌等污染物排除
(1)所有人员都必须通过的进出口进入,并在进入清洁区之前必须换上软底运动鞋,并且不得将软底球鞋穿出洁净区外。除施工人员及管理人员外闲杂人等一律不得进入洁净车间的相关区域。
(2)进入清洁区之前,必须洁净车间的机械,工具,材料和配件,并在室外擦拭干净。不得有油、锈及灰尘等,并且只能从规定的出入口进出。梯脚、施工机具底脚必须有橡胶软底。
(3)清洁区域中的物料搬运和设备搬运应小心谨慎,以免与墙壁或天花板碰撞。工具或材料搬运时必须完全离开地面,不得在地面上拖行。管道等长度≥1.5m的材料必须由两人进行搬运,一人拿一端,不得一人独自搬运。